薄膜材料 (溅射靶材)
东曹集团是半导体及平板显示面器业界的知名靶材制造企业,在美国(Tosoh SMD,Inc.)、日本(Tosoh SMC)、韩国(Tosoh SMD Korea)和上海(Tosoh SMD Shanghai)拥有工厂,以高品质、高稳定性以及先进的设计能力和生产能力著称,致力于提供客户最佳性价比的产品,并不断为客户提供高可靠的降低成本的解决方案。
可选的溅射材料: |
Cr, Co-Ni-Cr, Co-Nb-Zr, ZAO, ITO, Ni-Cr-Si, Cr-Si, Al, Al-Cu, Al-Si, Al-Si-Cu, WSi2, Ti, Ti-W, Ta, Cu, W, others |
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应用领域: |
- 半导体领域: PVD工艺(12”,8”,6”硅片)
- 平板显示面板: PVD 工艺
- 薄膜太阳能电池: PVD 工艺
- 磁记录媒介(磁盘及可擦写光碟)、录音磁头、热印打印头以及薄膜电阻等。
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Tosoh SMD网页: http://www.tosohsmd.com/
Tosoh SMC网页: http://www.t-smc.co.jp/